玉川エンジニアリング株式会社 HOME > タマガワOriginal > ウェハID リーダー/ソーター
30パターンのレシピ設定が可能 ウェハに印字されたロットナンバーを読み取り 生産工程で順番がバラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置です。 |
外形寸法 | 1000(W)×750(D)×1300(H) mm |
重量 | 100kg (4カセット+アライナ仕様) |
対応ウェハ | 6インチ(8インチ対応可) |
電源 | 100V 50‐60Hz 10A |
真空 | ‐30KPa以下 |
スループット | 20秒/枚 |
●抜群の使い勝手
必要な操作は全てタッチパネルでの操作になります。(非常停止ボタン除く)
●高メンテナンス性
専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター(3軸)など
汎用品を用いて実現。専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能です。
●低コスト
専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現。 保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事ができます。
スキャナ | スキャナ部は信頼性の高いCOGNEX社のIn-Sightシリーズを採用。 照明一体型の装置でウェハーIDの確実な読み取りが可能。 |
搬送 | ウェハー搬送部はサーボモータとPLCによるモーションコントロール。 Y軸スライダのウェハー搬送部はバキュームで吸着しており、高速搬送時にも安定した動作とパーティクルの飛散防止を実現。 |
ソーター | 4カセット+アライナ仕様で1to1はもちろん、2to1など目的に応じたソートが可能。 昇順・降順の設定はもちろん30種類のレシピ設定が可能。 |
操作方法 | 操作は全てタッチパネル方式を採用し、中央部のメインモニタで直感的に操作が可能。 上部にサブモニタを搭載しており、作業者の目線に合わせた操作性を実現。 |
制御盤 | 基盤部分は全て信頼性の高い汎用部品で構成していますので、故障時にも迅速な対応が可能。 |
緊急時 | 万が一の緊急時に備えて非常停止機能も完備。 |