ウェハID リーダー/ソーター

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30パターンのレシピ設定が可能 ウェハに印字されたロットナンバーを読み取り 生産工程で順番がバラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置です。 昇順・降順の整列はもちろん、必要ウェハの抜き取り、1個のカセットから 2個への分割、2個から1個への集約など30パターンのレシピ設定が可能

外形寸法	1000(W)×750(D)×1300(H) mm
重量	100kg (4カセット+アライナ仕様)
対応ウェハ	6インチ(8インチ対応可)
電源	100V 50‐60Hz 10A
真空	‐30KPa以下
スループット	20秒/枚

●抜群の使い勝手
必要な操作は全てタッチパネルでの操作になります。(非常停止ボタン除く)
●高メンテナンス性
専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター(3軸)など
汎用品を用いて実現。専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能です。
●低コスト
専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現。 保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事ができます。

スキャナ	スキャナ部は信頼性の高いCOGNEX社のIn-Sightシリーズを採用。 照明一体型の装置でウェハーIDの確実な読み取りが可能。
搬送	ウェハー搬送部はサーボモータとPLCによるモーションコントロール。 Y軸スライダのウェハー搬送部はバキュームで吸着しており、高速搬送時にも安定した動作とパーティクルの飛散防止を実現。
ソーター	4カセット+アライナ仕様で1to1はもちろん、2to1など目的に応じたソートが可能。 昇順・降順の設定はもちろん30種類のレシピ設定が可能。
操作方法	操作は全てタッチパネル方式を採用し、中央部のメインモニタで直感的に操作が可能。 上部にサブモニタを搭載しており、作業者の目線に合わせた操作性を実現。
制御盤	基盤部分は全て信頼性の高い汎用部品で構成していますので、故障時にも迅速な対応が可能。
緊急時	万が一の緊急時に備えて非常停止機能も完備。