ウェハトランスファー

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キャリアに挿入された25枚のウェハを、 1度にキャリアやボートに移載させる装置 ※オリフラ合わせ機能内蔵 異なるウェハ厚さ(275~600μm)混在可能 高速スループット 25秒/回を実現

外形寸法	700(W)×400(D)×450(H) mm (突起物除く)
重量	約45kg
対応ウェハ	6インチ(8インチ対応可)
電源	100V 50‐60Hz 10A
スループット	25秒/回

●抜群の使い勝手
必要な操作は全てタッチパネルでの操作になります。(非常停止ボタン除く)
●高メンテナンス性
専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター(3軸)など汎用品を用いて実現。
専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能です。
●低コスト
専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現。
保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事ができます。

ウェハ保持機構	異なるウェハ厚さ(275~600μm)を混在しての搬送が可能です。材質:PCTFE
キャリアテーブル	ローダー・アンローダー独立駆動により、キャリアセット時の作業スペースを確保しました。
省パーティクル	パーティクルの発生源となる機械要素を本体内に収納しており、パーティクルの拡散を防止しております。内部減圧用ポート対応可。
操作方法	操作は全てタッチパネル方式を採用し、メインモニタで直感的に操作が可能。
制御部	基盤部分は全て信頼性の高い汎用部品で構成していますので、故障時にも迅速な対応が可能。
緊急時	万が一の緊急時に備えて非常停止機能も完備。